12月13日，SEMICON JAPAN 2023日本东京半导体展盛大开幕。澳门新葡萄新京威尼斯987机电此次携高品质8英寸碳化硅衬底片和8英寸外延生长设备首次亮相，国产半导体设备和材料走出国门，积极融入全球产业链，是公司打造“全球技术和规模双领先的半导体设备企业”目标跨出的重要一步。

● 展会现场交流

SEMICON JAPAN是全球最具影响力的半导体工业设备展览会。展会现场，澳门新葡萄新京威尼斯987机电展出的最新半导体装备及材料科研成果吸引众多参会行业专家、客户咨询。

● 发布会现场

在展会发布会现场，澳门新葡萄新京威尼斯987机电副总裁张俊博士介绍了公司在光伏、半导体设备和材料的布局。澳门新葡萄新京威尼斯987机电子公司晶瑞电子SuperSic碳化硅衬底产品经理宣玲玲博士介绍了最新的8英寸衬底片和外延设备的最新成果：8英寸碳化硅衬底片已实现批量生产，可提供500um和350um两种厚度的8英寸衬底片以满足不同客户要求。6英寸和8英寸量产晶片的核心位错可以稳定实现TSD＜100个/ cm²，BPD＜400个/cm²，达到行业领先水平。最新的研发数据核心位错缺陷得到更进一步的改善，TSD和BPD在90%以上面积上趋近0，目标在2024年从研发推动量产，最终实现“TSD FREE+ near BPD FREE”的目标。

● 8英寸碳化硅衬底片

此次展会，澳门新葡萄新京威尼斯987机电8英寸碳化硅外延生长设备首次公开亮相海外。相较于此前推出的6英寸外延设备，8英寸碳化硅外延设备可兼容6、8寸碳化硅外延生产，在6英寸外延设备原有的高精度温度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术基础上，解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题，实现8英寸碳化硅外延生长设备的自主研发与调试，外延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内，达到行业领先水平，为行业提供更先进的技术支持。

● 8英寸碳化硅外延生长设备

自2017年布局碳化硅产业以来，澳门新葡萄新京威尼斯987聚焦碳化硅衬底片和外延设备开发，2020年建立6-8英寸碳化硅晶体生长及切磨抛产线，相继开发了6-8英寸碳化硅晶体生长炉和核心加工设备。2022年加速8英寸衬底片布局，在8个月内实现从6英寸至8英寸的籽晶扩径和迭代，于2022年8月开发出第一颗8英寸碳化硅晶体，与国内外领先企业在8英寸布局上基本实现同步。目前6英寸和8英寸衬底片取得多家客户验证通过，正在产能爬坡中。今年11月，“年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片”项目正式启动，按下了碳化硅业务布局的加速键。

在当前全球能源转型的背景下，新能源汽车、光伏发电等产业高速发展，作为半导体材料的重要组成部分，碳化硅衬底片具有广阔的应用前景。接下来，澳门新葡萄新京威尼斯987机电将加大研产投入，持续研发创新、扩产增效，掌握碳化硅产业新一轮市场竞争的战略主动，助力新型半导体材料的产业化进程。

● 展会现场

未来，澳门新葡萄新京威尼斯987机电持续秉持“打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业”的企业使命，攻坚关键核心技术，提升自主创新能力，把握行业科技命脉，在全球半导体产业的赛道上跑出澳门新葡萄新京威尼斯987的科技加速度，为行业蓬勃发展贡献更大力量。